ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐

實(shí)驗(yàn)用8kg多晶硅鑄錠爐ZT-40-16D

研發(fā)背景：

應(yīng)某大學(xué)硅材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室要求，本公司新研發(fā)了一臺(tái)小型實(shí)驗(yàn)室專用多晶硅鑄錠爐，此設(shè)備具有如下特點(diǎn)：

1.具有當(dāng)今市場主流鑄錠爐的一切功能，包括實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行。

2.具有生產(chǎn)周期短，能耗低，實(shí)驗(yàn)成本節(jié)約的特點(diǎn)。

3.增加了部分新功能，除鑄錠以外，還實(shí)現(xiàn)部分提純功能。

技術(shù)參數(shù)：

1.功率：40KW

2.坩堝容量：標(biāo)準(zhǔn)10英寸

3.高溫度：1550度

4.極限真空度：10-1Pa

5.保溫罩上移距離：200mm

6.爐底大位移：800mm

7.進(jìn)出料方式：爐底進(jìn)出

8.加熱元件：石墨管加熱

9.保護(hù)功能：除了超壓自動(dòng)泄壓、漏硅聲光報(bào)警、更有*的漏硅保護(hù)措施，確保操作安全。

10.常用溫度：1550℃

11.高溫度：1600℃

12．控制方式：可控硅調(diào)功+大電流變壓器

13．控溫精度：±3℃

14．石英坩堝尺寸：198×198×200mm(L×W×H)

15．鑄錠重量：2-8KG

16．保溫桶大位移：200mm

17．空爐冷態(tài)極限真空度：≤6.67×10-1Pa

18．保溫層移動(dòng)速度：0.5-25mm /小時(shí)(可調(diào))

19. 空爐冷態(tài)壓升率：≤2 Pa/h

ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐